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微细加工工艺方法与微细加工方法有多种，包括但不限于以下几种：
1、微机械加工工艺方法：主要包括微切削、微磨削及微抛光等工艺，微切削工艺包括车削、铣削、磨削等，主要用于加工各种金属材料，微磨削则主要用于改善表面光洁度，微抛光则用于达到更高的表面质量。
2、微细电火花加工方法：是一种利用电火花原理进行加工的方法，适用于各种导电材料的微细加工，其特点是可以实现任意截面形状的加工，且加工时不受材料硬度影响，还有微细电解加工方法，这是一种电化学加工方法，通过电解过程去除材料以达到加工的目的，这种方法适合加工高硬度材料。
3、微细激光加工方法：包括激光打孔、激光切割等工艺，具有高精度、高速度、高能量密度等特点，还有激光化学联合加工方法，这是一种结合了激光和化学原理的加工方式，主要用于特殊材料的加工。
4、超精密研磨和抛光技术：这是获得光滑表面和精确形状的关键步骤，主要包括化学机械抛光、原子力显微镜下的抛光技术等。
5、微细孔加工技术：主要包括机械钻孔、激光钻孔、电火花钻孔等，这些技术广泛应用于制造微小零件和组件，如印刷电路板、传感器等。
6、微细铣削技术：这是一种利用旋转切削工具去除材料的工艺，适用于制造复杂形状的微小零件和组件，还包括纳米铣削技术，这是一种更高精度的铣削技术。
仅供参考，如需了解更多关于微细加工工艺方法与微细加工方法的信息，可以咨询制造业专业人士或查阅相关书籍文献。